待处理材料或工件在真空或保护气体环境下，通过电阻或感应加热到合适的温度，并在此温度下保持一定时间后，以不同的速度冷却不同的冷却介质，从而改变待处理材料或工件的表面或内部显微组织结构，从而消除和控制某些缺陷，提高其性能和质量。
真空热处理是指热处理过程的全部和部分在真空状态下进行的。真空热处理可以实现几乎所有传统的热处理过程，但热处理质量大大提高。
与传统热处理相比，真空热处理技术可以同时实现无氧化、无脱碳、无渗碳，去除工件表面的磷屑，具有脱脂除气的功能，从而达到表面光亮净化的效果。
然而，经过几十年的努力，中国真空炉制造商的设计、制造水平和质量都有了很大的提高。国产真空设备逐渐增加了从国外进口的真空设备，从而降低了用户的生产成本，迅速扩大了真空热处理的应用范围。
真空热处理是一种广泛应用于可控氛围的无氧化热处理技术，也是目前热处理生产技术先进的主要标志之一。真空热处理不仅可以实现钢材的无氧化、无脱碳，还可以实现生产的无污染和工件的少畸变，属于清洁和精密生产技术的范畴。现已成为模具生产中不可替代的先进技术。
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真空热处理主要分为哪几种？
烧结:真空加热低于粉末或粉末压坯基本成分熔点的温度，使粉末颗粒凝固成晶粒聚合体，最终获得致密的烧结体。
钎焊:在真空加热状态下，低于基体金属熔点的液体钎料通过工件之间的微小间隙渗透扩散，填充基体金属间隙形成牢固的金属结合体。
淬火:钢或合金工件在真空加热状态下加热到一定温度并保持一定时间后，通过冷却介质冷却，工件从奥氏体变为马氏体组织状态，硬度提高。根据冷却介质的不同，可分为气淬、油淬和水淬。
回火:淬火后的工件在真空中以不同的温度加热、保温冷却后，得到一定硬度和韧性的回火马氏体、回火屈氏体或回火索氏体。淬火与回火密不可分，淬火与高温回火相结合的工艺称为调质(回火索氏体)。
退火:钢制工件在真空状态下加热、保温，随炉冷却，去除加工硬化产生的内应力，使工件内部组织接近平衡状态，增强伸长性，提高塑性。
固溶:不锈钢或合金工件在真空状态下加热到一定温度，保温冷却后，工件内部合金相充分溶解，形成组织状态变化，得到固溶体，消除应力，改善工件塑性、韧性和耐腐蚀性，继续加工或成形。
时效性：不锈钢或合金工件经固熔处理后，在真空加热至一定温度后进行保温，使其性能、形状、尺寸随时间而变化，消除内应力，稳定组织和尺寸，改善机械性能。
正火:将钢工件加热到奥氏体化温度以上，保温一段时间后慢慢冷却，改变工件内部基体组织。
脱气:在真空状态下将工件加热到一定温度，保温一段时间，释放工件内杂质气体，抑制时效脆化，提高机械性能。
磁退火：去除软磁材料因压延或冲压而产生的内应力而产生的热处理工艺。
脱羟：石英工件中的羟基杂质通过长时间高真空下的高温烘焙和排气逸出，提高了工件的质量和使用寿命。
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