真空热处理是一种理想化的无空气氧化、无渗碳的明亮热处理工艺技术性。可是，在真空热处理全过程中金属元素的蒸发、零件表面铝合金原素的贫化、耐腐蚀特性的降低及其提升零件的表面光泽度等难点是难以避免要出現的。
纯金属材料及铝合金中的金属元素在一定的溫度及真空值下能造成蒸发。它对零件的真空热处理品质、对真空泵加热室的环境污染均拥有 不容忽视的危害危害。依据相平衡论，在不一样溫度下，金属材料蒸发功效于金属材料表面上的均衡工作压力(蒸汽压)是不一样的。伴随着溫度的上升，蒸汽压也上升。当环境压力低于该溫度下金属元素的蒸汽压时，金属元素便会造成蒸发(提升)。环境压力越小，即真空值越高，金属元素就越非常容易蒸发。在同样的标准下蒸汽压高的原素比蒸汽放低的原素更非常容易蒸发。
铝合金中(包含零件原材料、真空泵加热室的构造原材料及工工装夹具原材料)或是捆扎零件用的细铁丝的表面，假如带有蒸汽压高的金属元素(如Ag、Al、Mn、Cr、Si、Pb、Zn、Mg、Cu等)，在真空泵中加热时，当真空值高过金属元素的蒸汽压，则金属元素将造成蒸发，蒸发出去的金属元素，呈汽体形状紧紧围绕在固态金属材料的周边，黏附并环境污染金属材料表面，制冷时导致零件中间或零件与料筐中间的互相粘合，比较严重的时候会导致加热元器件与炉墙间的短路故障。蒸发比较严重时，造成零件表面铝合金原素贫化而危害特性，而且导致表面不光滑，危害零件的表面光泽度。
因而，在真空技术中加热解决，真空值的有效操纵是一个非常关键的难题，务必制定严苛的加工工艺和程序流程设置操纵。
底压汽体维护可降低金属元素蒸发。为降低或防止铝合金原素的蒸发，能够 采用向真空泵加热房间内自动充电高纯度中性或稀有气体(如N2、氩气、氦气等)的方式 来提升气体压强。将真空泵房间内的气体压强调整在0.1～650Pa的范畴内。这类真空泵维护氛围热处理工艺方式 又称之为底压汽体保障法，既可避免 铝合金原素的蒸发，又可得到明亮的表面。这类方式 的另一个益处是提升了对广为流传热功效，更有益于零件的匀称加热。真空泵维护氛围热处理工艺法所应用的汽体纯净度一般应超过99.99%。若自动充电的中性或稀有气体的纯净度不足，不但不容易减少铝合金原素的蒸发速率，反倒会使之提升，导致零件表面铝合金原素贫化，耐腐蚀工作能力降低。不锈钢板带有很多的Cr、Ni、AL、Mn、Ti等铝合金原素，其蒸汽压都较为高。
真空泵时效处理规定在较高的真空值(1.33×10-2～1.33×10-3pa)下开展;为避免 铝合金原素的蒸发，应选用真空泵分压电路解决，即先将加热室的真空泵抽至1.33×10-2～1.33×10-3pa，随后自动充电高纯度中性或稀有气体，使打气气体压强维持在133～13.3pa或是高些。高纯度中性或稀有气体要持续保持向加热房间内自动充电，一是使汽体充足具有维护功效，提升气体压强降低金属元素蒸发;二是提升汽体对广为流传热功效，更有益于零件的匀称加热。真空泵时效性可选用较高的真空值(1.33×10-2～1.33×10-3pa)。因为时效性時间较长，因此 ，退火炉的压升率最好是小于或等于0.67Pa/h，不然，不容易确保零件的表面光泽度。
真空热处理选用分压电路加热时自动充电汽体应挑选高纯的中性或稀有气体，氢、氦、氮、氩等汽体普遍汽体，其四种汽体的制冷速率由快至慢先后为氢、氦、氮、氩。如以气体的冷速为1，则氢、氦、氮、氩与气体的冷速之比各自为7、6、0.99、0.7。
氡气在一切气体压强下都具备较大 的导热工作能力及较大 的冷速，能够 用以高纯石墨做为加热和隔热保温元器件的退火炉。可是，对碳含量高的钢材牌号，在制冷的高溫环节(1050℃之上)有可能导致轻度渗碳;用以高强度钢板则有碱脆的风险。用氢作制冷物质的气路系统软件应密闭式靠谱，进行制冷实际操作后，应立即排出来氡气，并充进N2，即可开启炉口，不然，有造成发生爆炸的风险。
氦气的价钱最大。因为它在底压下也是有一定的制冷工作能力，因此 ，一般在1×10-4Pa下列的打气气体压强下应用。
N2是最常见的汽体，也最划算。在略低大气压力气体压强下开展强制性循环系统制冷，制冷地震烈度值可升高约20倍。在200～1200℃范畴内，N2对一般钢呈中性，对铝合金、不锈钢板、耐热合金等呈一定的特异性，若在N2分压电路下开展真空泵加热和制冷，零件表面有Cr2N产生，造成 表面特性受到影响，即抗压强度提升，横断面缩水率降低，抗腐蚀也会遭受一定的危害。因此 不适合用N2。
氩气比较普遍，价格对比氦气划算，但比N2贵，在不适合应用N2的场所，如不锈钢板，耐热合金与铝合金的真空泵加热和制冷，应用氩气实际效果更强。
因而，在真空热处理全过程中必须向加热室自动充电高纯度中性或稀有气体，进而提升加热房间内真空泵工作中气体压强，降低金属元素的蒸发，防止造成零件表面铝合金原素贫化而危害热处理工艺后零件的耐腐蚀特性，分压电路气体压强及其分压电路時间务必挑选适度，才可以做到降低蒸发，又可得到表面明亮的实际效果。